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本文圍繞研磨、加工、工件、流體、作用、進(jìn)行、拋光、機(jī)械、利用、化學(xué)反應(yīng)等有關(guān)詞展開編寫的關(guān)于超精密研磨拋光的主要技術(shù)介紹的研磨加工工件相關(guān)文章，僅供大家了解學(xué)習(xí)。

超精密研磨拋光主要技術(shù)介紹

1.在液體中研磨

將超精密拋光磨具面和工件浸泡在含有磨粒的磨料中，借助水波效應(yīng)，在充足的加工液中用游離的細(xì)小磨粒進(jìn)行磨削，對磨粒產(chǎn)生的熱量有極好的冷卻作用，對磨削過程中的小沖擊有緩沖作用。

2.機(jī)械化學(xué)研磨

化學(xué)研磨是通過化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行的機(jī)械研磨。有濕磨和干磨兩種。

濕法機(jī)械化學(xué)研磨用于硅晶片的zui終精加工。該研磨劑含有0.01um的二氧化硅磨粒，在弱堿性膠體溶液中，與之配套的磨具是涂有精細(xì)結(jié)構(gòu)的軟質(zhì)發(fā)泡聚氨基酸的人造革。

干態(tài)機(jī)械化學(xué)研磨是一種利用工件和磨粒之間化學(xué)反應(yīng)的研磨方法。干燥條件下小范圍的化學(xué)反應(yīng)有利于加工，因?yàn)榱綖?.01—0.02的二氧化硅磨粒化學(xué)活性強(qiáng)，研磨量大。

3.磁流體精密研磨

磁流體是在液相中分散成膠體大小的鐵磁粉(

磨料懸浮加工是一種利用懸浮在液體中的磨粒進(jìn)行可控精密磨削的加工工藝。磨削裝置由磨削加工部分、驅(qū)動(dòng)部分和電磁部分組成。磨料控制加工是預(yù)先將磨粒放入磨具的孔中，通過磁流體的作用將磨料逐漸輸送到磨盤上。封閉式磁流體處理是通過橡膠板將磨粒從磁流體中分離出來。

4.磁力研磨

利用磁場，磁極之間的磁性磨料形成刷子一樣的磨料，吸附在磁極的工作面上。在磨料與工件的相對運(yùn)動(dòng)下，實(shí)現(xiàn)工件表面的磨削效果。這種加工方法不僅可以磨削圓周面、平面和邊緣，還可以磨削凹凸不平的復(fù)雜曲面。

5.軟磨粒的機(jī)械拋光(彈性發(fā)加工)

小切削可以達(dá)到原子級，直到切掉一層原子，被加工表面的晶格不會(huì)變形，從而獲得表面粗糙度極小、材料極其純凈的表面。加工原理的實(shí)質(zhì)是磨粒擴(kuò)散和微小顆粒加速彈性出的力學(xué)效應(yīng)的綜合作用。靜電粉末粒子在真空、氣流或水流中加速。

6.化學(xué)機(jī)械拋光

化學(xué)拋光是一種利用研磨液的腐蝕和磨粒的機(jī)械作用的拋光方法。蝕刻液，如氧化鐵和硫酸或鹽酸的水溶液、錳鋅鐵氧體磨粒和鹽酸的水溶液等。

7.水合拋光

它是利用工件界面上的水化化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行磨削的方法。其主要特點(diǎn)是不使用磨粒和加工液，加工裝置類似于目前使用的磨盤或拋光機(jī)，只是在水蒸氣環(huán)境下加工。

機(jī)理:在拋光過程中，兩個(gè)物體在接觸區(qū)域產(chǎn)生相對摩擦和高溫高壓，因此工件表面的原子或分子被激活。利用水蒸氣分子或過熱水作用于界面，在界面上形成一層水化化學(xué)反應(yīng)層，然后在一個(gè)大氣壓的水蒸氣環(huán)境中，借助過熱水蒸氣或外部摩擦，將這一層水化層從工件表面分離去除，從而實(shí)現(xiàn)鏡面加工。

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